Моделювання формування плівкових  наноструктур

Гончаров, О. А.; Юнда, А. М.; Гончарова, С. А.; Фесенко, О. В.

Моделювання формування плівкових наноструктур

dc.contributor.author	Гончаров, О. А.
dc.contributor.author	Юнда, А. М.
dc.contributor.author	Гончарова, С. А.
dc.contributor.author	Фесенко, О. В.
dc.date.accessioned	2020-05-07T13:43:48Z
dc.date.available	2020-05-07T13:43:48Z
dc.date.issued	2020
dc.description.abstract	В запропонованій нами моделі розглядалася кінетика зростання наноструктурованих плівок боридів та нітридів перехідних металів під час реактивного розпилення, з урахуванням впливу технологічних параметрів магнетронної розпилювальної системи.	ru_RU
dc.identifier.citation	Гончаров О.А., Юнда А.М., Гончарова С.А., Фесенко О.В. Моделювання формування плівкових наноструктур // Сучасні інформаційні технології, засоби автоматизації та електропривод : матеріали ІV Всеукраїнської науково-технічної конференції / За заг. ред. О. Ф. Тарасова. – Краматорськ : ДДМА, 2020.	ru_RU
dc.identifier.isbn	978-966-379-936-0
dc.identifier.uri	https://dspace.ddma.edu.ua/handle/DSEA/667
dc.language.iso	other	ru_RU
dc.publisher	Донбаська державна машинобудівна академія	ru_RU
dc.subject	моделювання за методом Монте-Карло	ru_RU
dc.subject	контроль мікроструктури нанокристалічних плівок	ru_RU
dc.title	Моделювання формування плівкових наноструктур	ru_RU
dc.type	Article	ru_RU

Файли

Контейнер файлів

Зараз показуємо 1 - 1 з 1

Назва:: Goncharov O. Fesenko O..pdf
Розмір:: 292,27 KB
Формат:: Adobe Portable Document Format

Завантажити

Ліцензійна угода

Зараз показуємо 1 - 1 з 1

Назва:: license.txt
Розмір:: 7,85 KB
Формат:: Item-specific license agreed upon to submission
Опис:

Завантажити

Зібрання

Секція 02 - Моделі, методи і інформаційні технології системного аналізу та синтезу структурних, інформаційних і функціональних моделей складних об'єктів і процесів.