Моделювання формування плівкових наноструктур
Вантажиться...
Дата
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Донбаська державна машинобудівна академія
DOI
Анотація
В запропонованій нами моделі розглядалася кінетика зростання наноструктурованих плівок боридів та нітридів перехідних металів під час реактивного розпилення, з урахуванням впливу технологічних параметрів магнетронної розпилювальної системи.
Опис
Бібліографічний опис
Гончаров О.А., Юнда А.М., Гончарова С.А., Фесенко О.В. Моделювання формування плівкових наноструктур // Сучасні інформаційні технології, засоби автоматизації та електропривод : матеріали ІV Всеукраїнської науково-технічної конференції / За заг. ред. О. Ф. Тарасова. – Краматорськ : ДДМА, 2020.